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全国首台国产商业电子束光刻机「羲之」正式投入市场,和 EUV 光刻机有何区别?如何影响半导体行业? - 知乎

https://www.zhihu.com/question/1940793748553445714
科技 光刻机 半导体 商业 EUV光刻机 半导体行业

科普丨秒懂!一文明白芯片、半导体和集成电路的联系和区别—维科号

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