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全国首台国产商业电子束光刻机「羲之」正式投入市场,和 EUV 光刻机有何区别?如何影响半导体行业? - 知乎
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如何看待中芯国际与阿斯麦修订采购协议,疑似花 12 亿美元购买光刻机? - 知乎
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